国产半导体设备商拓荆科技冲刺科创板：供货中芯华虹长江存储，已进 14nm 产线

这样的产品性能离不开研发团队的努力和企业的技术积累。

在研发团队方面，拓荆科技研发人员共有 142 人，占公司员工总数的 43.56%。其核心技术人员有公司创始人兼董事姜谦、董事长吕光泉、总经理田晓明、副总经理张孝勇、副总经理周坚、监事会主席兼资深技术总监叶五毛和产品部总监宁建平等 7 人。

其中，姜谦和田晓明拥有 35 年的半导体设备行业经验，吕光泉则具有 27 年的高端半导体设备行业研发、管理经验。3 人都是美国国籍。

▲ 拓荆科技董事长吕光泉（左一）和创始人、董事姜谦（右一）

姜谦曾在美国布兰迪斯大学获博士学位。1982 年 1 月至 1984 年 6 月，姜谦任麻省理工学院材料科学工程中心研究员。1984 年 7 月，姜谦于英特尔就职，历任工程师、研究员、项目经理、部门经理等多个职位。此后他在美国诺发、欣欣科技（沈阳）有限公司担任过副总裁和执行董事职务。2010 年 4 月至今，姜谦任职于拓荆科技。

吕光泉为美国加州大学圣地亚哥分校博士，1994 年 8 月至 1996 年 4 月，他任美国科学基金会尖端电子材料研究中心电子材料副研究员；1996 年 4 月至 2007 年 7 月，吕光泉就职于美国诺发，历任高级工程师、PECVD 工艺研发部经理、项目主任兼工艺研发高级经理、ALD 技术高级经理；2007 年 7 月至 2014 年 8 月，他就职于德国爱思强公司。2014 年 9 月至今，吕光泉于拓荆科技任职。

田晓明则有美国东北大学电子工程学硕士和新加坡南洋理工大学工商管理硕士学位。1991 年 9 月至 1994 年 12 月，田晓明任美国 Codi Semiconductor,Inc. 工艺开发经理；1994 年 12 月至 2008 年 10 月，他就职于泛林半导体，担任过资深工艺工程师、资深工艺研发经理、资深大客户经理、中国区技术总监等职位；2008 年 10 月至 2018 年 2 月，田晓明为尼康精机（上海）有限公司资深副总裁；此后，田晓明就职于拓荆科技。

技术积累方面，拓荆科技，在机台结构、传动模块、反应腔体、关键结构件、气路、温度控制系统等方面，形成了一系列自研设计，构建了较为完善的知识产权体系。截至招股书签署日，拓荆科技累计已获授权的专利 167 项，其中发明专利共计 86 项。

根据招股书，本茨发行前拓荆科技的前三大股东分别为国家集成电路基金、国投上海和中微半导体，其所持股份比例分别为 26.48%、18.23% 和 11.20%。中微半导体也提名了其董事长兼总经理尹志尧作为拓荆科技董事。

其余持股超过 5% 的股东还有嘉兴君励和润扬嘉禾，持股比例分别为 7.39% 和 6.57%。

▲ 拓荆科技前十大股东（来源：拓荆科技招股书）

在新建晶圆厂中，薄膜沉积设备作为晶圆制造的关键一环，其投资规模占晶圆制造设备总投资的 25% 左右。当前，全球薄膜沉积设备市场份额被应用材料、泛林半导体、东京电子等行业巨头所占据。

拓荆科技作为我国薄膜沉积设备头部厂商之一，基本上代表了我国 PECVD 等产品的水平。其 IPO 如果能够成功，对我国薄膜沉积设备产业技术实力有着积极影响。但值得注意的是，拓荆科技当前收入较为依赖 PECVD 设备，ALD、SACVD 设备处于市场开拓阶段，盈利周期有着不确定性。